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发射结磷扩散方法的改进
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文件大小:269.76K
更新日期:2012-03-08
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详细介绍
分析了高温高浓度磷扩散工艺生产中的种种弊病, 提出了类似于硼扩散新的磷扩散方法,详细分析了新方法的可行性及优点, 实验结果和理论分析一致。
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