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汕头华汕电子器件有限公司磷吸杂工艺研究

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磷吸杂在晶体管芯片制造过程中对改善芯片表面态、减少漏电流等起着重要作用。文中确定了方块电阻为6- 8Ω/□ ( 欧姆/方块) 的磷吸杂工艺条件, 并对过程的相关影响因素进行分析和探讨, 同时提出了解决方法。
 
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