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快速热处理法制备单晶硅太阳能电池

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利用快速热处理(Rapid Thermal Processing ,RTP) 技术,成功制备了单晶硅太阳电池。在三个重要的热处理环节(磷扩散制作P - N 结、热氧化、电极烧结) 采用了快速热处理法,电极制作采用了丝网印刷。初步研究,用大面积的单晶硅片制备出转换效率为11 %、开路电压为56416 mV、短路电流密度为3017 mAPcm2 的太阳电池。
 
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