本标准代替GB/T 4061—1983《硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法》。
本标准与原标准相比,主要有如下改动:
——增加了“术语”、“试剂与器材”。
——增加了“检验报告”内容。
——本标准对“试样尺寸”“试样处理”内容进行了修改。
本标准由中国有色金属工业协会提出
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会归口。
本标准起草单位:洛阳中硅高科技有限公司
本标准主要起草人:
本标准所代替版本的发布情况为:
——GB/T 4061—1983