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冷等离子体对硅粉薄层的提纯研究

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给出了冷等离子体对作为阴极的硅粉薄层的提纯方法及装置、提纯结果和规律。实验表明,在氮化氢气氛下, 不仅可以除去95% 以上的许多过渡金属杂质, 还可以除去许多非金属杂质。这种提纯硅的方法在研制太阳能电池材料方面具有好的应用前景。
 
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