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非晶硅(a-Si TFT)与低温多晶硅(LTPS TFT)的区别
文件类型:压缩文件
文件大小:89K
更新日期:2012-04-20
浏览次数:
380
下载次数:
0
详细介绍
低温多晶硅
LTPS
是
Low Temperature Ploy Silicon
的缩写,一般情况下低温多晶硅的制程温度应低于摄氏
600
度,尤其对
LTPS
区别于
a-Si
制造的制造程序“激光退火”(
laser anneal
)要求更是如此。与
a-Si
相比,
LTPS
的电子移动速度要比
a-Si
快
100
倍,这个特点可以解释两个问题:首先,每个
LTPS PANEL
都比
a-Si PANEL
反应速度快;其次,
LTPS PANEL
外观尺寸都比
a-Si PANEL
小。
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