磁控溅射镀膜机真空室及附属部件设计

本设计是一种连续生产磁控溅射溅射镀膜机，主要用于非晶硅太阳电池金属铝背电极的镀膜，以达到节省材料的目的，另兼顾其他太阳电池常用材料的镀膜和镀膜工艺的探讨。设计定位为一中试设备，结构要比较简单，同时要具有可扩展的性能。本设计采用两个真空腔室的结构：剩放样品的装载室和镀膜的沉积室，两腔室中间由一大型闸板阀相连通。装载室中有一样品架，其由真空室外的伺服电机和丝杠控制升降。装载室有一石英管加热器，沉积室的底部有一射频电源加热器。装载室的侧面便于操作的位置安装了一个可以自由开闭的铝门。本镀膜机基本的结构件的材料均为优质304#不锈钢