产地:湖北 武汉 武汉市 | 归属行业:清洗设备
品牌:Plasma Etch (USA)
有效期至:长期有效
联系人: 张还胜
电话: 027-87870858
主营: 从事机电产品、工业设备、测试仪器实验仪器和相关配件、辅料的技术开发与产品销售(不含限制项目);经营进出口业务(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)
联系地址:深圳市宝安区西乡街道兴业路2005号互联网产业基地C区A栋406
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PE-100焊接铝真空反应腔包含一个宽松的240平方英寸的有效等离子处理面积, 标准配置三层电极。采用工业粉末固化工艺,PE-100本体洁净的设计,能在运行过程中减少污染物产生。
当使用PE-100作为反应离子蚀刻应用,电极会特别设计为直驱型等离子,意味着等离子接触处理物表面,产生的等离子体向下流动或是钻进的效果。这个过程主要用在那些微孔或是清洗非常小的空间,这些工件通常不能够通过化学清洗方法,因为液体流动会在小空间里面受到限制,比如过孔。
典型的客户包括:先进生产制造工程,研究和开发实验室,测试工厂以及大学。工业客户包括生物医药,牙科,电子,光电子,医疗器械,塑料,光学,太阳能电池电池板等。.
使用我们的等离子清洗机刻蚀,比较化学浸泡方法,可以避免昂贵的有害化学废水处理。等离子处理非常容易使用,通过导引型触摸屏操作控制等离子过程的各个参数,来确保高重复性。
我们可以客户化配置反应腔和电极,来满足您的产品或是过程需要,包括客户化尺寸水平电极,RIE(反应离子蚀刻) 和半导体引线边框的布局。
标准特性
焊接铝真空反应腔
3层水平处理电极 9” 宽 x 13” 深 3” 间隔距离
300 瓦射频发生器 @ 100KHZ
一个0-50sccm质量流量控制器
皮拉尼真空计0-1托
微处理器控制系统,带触摸屏界面, 存储一组过程参数
8CFM带氧气供应真空泵
真空泵油水分离器
可选项目特性
300 W射频发生器 @ 13.56 MHZ
静电防护
过程温度控制
氮气输入系统,用于延长真空泵寿命
RIE(反应离子蚀刻)配置
客户化电极尺寸和配置
电气和尺寸:
系统重量:等离子反应器 160lbs,真空泵68lbs
系统尺寸:等离子反应器 17“ X 28” X 30”, 真空泵6 “ X 18” X 9”
厂务条件:
电压:220伏交流, 50HZ, 13A, 单相
压缩气体供应80-100psig <0.5 CFM
可调过程气体15-30PSIG
温度低于29.5摄氏度,非冷凝