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产地：江苏 无锡 无锡市 | 归属行业：清洗设备
品牌：AEL
有效期至：2021-03-11 [已过期]
联系人: 董黎
电话: 0510-85382188
主营: 半导体产品、液晶、太阳能光伏、环保设备的研发、制造、维修；仓储服务；管道工程的设计、安装
联系地址：半导体产品、液晶、太阳能光伏、环保设备的研发、制造、维修；仓储服务；管道工程的设计、安装
单片刻蚀设备：
型号有FY-1500S、FY-2000S、FY-3000S三大系列，适用于6吋、8吋、12吋晶圆刻蚀，主要工艺为metal Etch，应用于半导体领域。
产品详情
单片刻蚀设备
- 满足SEMI S2、SEMI S8和CE标准；
- 结构合理紧凑，占地面积小；
- 配置ULPA FFU ,带CDS供液及回收系统， 自动补液配液（通常3种药液）；
- Chamber内正面2~3个Dispenser 及一个Fix Nozzle, 背面带DI Nozzle；
- MTTR: 小于60min，MTBF: 最小500Hour；
- 配置离子发生器及高清摄像头；
- 4~24 个腔体。
大家好！无锡亚电智能装备有限公司是半导体晶圆行业湿法制程服务商，专注于晶圆前道湿法刻蚀清洗技术，是国内首批推进半导体高端设备国产化的企业之一。公司核心产品为6吋、8吋、12吋湿法刻蚀清洗设备，包括槽式设备和单片设备，涵盖多种前道湿法工艺，如：B Clean，Oxide Remove,Nitride Remove,PRStrip,Particle Remove,Solvent Clean,Wafer Reclaim,metal Etch等。此外，为应对个性化的清洗需求，公司还研发了多种辅助清洗机台，如：炉管清洗机，片盒清洗机，部件清洗机，本地化学品供液设备，湿法工作台，烘箱等。目前已与无锡上华、宁波中芯、广州粤芯、无锡华虹、重庆华润微电子等客户达成友好合作。详细资料请参考本公司网站产品信息内容，欢迎广大客户来电咨询。
销售部电话： +86-510-8538-2188
手机： +86-13306189603 网站：www.aelsystem.com
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董黎
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