半导体炉管清洗后烤箱

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 大家好！无锡亚电智能装备有限公司是半导体晶圆行业湿法制程服务商，专注于晶圆前道湿法刻蚀清洗技术，是国内首批推进半导体高端设备国产化的企业之一。公司核心产品为6吋、8吋、12吋湿法刻蚀清洗设备，包括槽式设备和单片设备，涵盖多种前道湿法工艺，如：B Clean，Oxide Remove,Nitride Remove,PRStrip,Particle Remove,Solvent Clean,Wafer Reclaim,metal Etch等。此外，为应对个性化的清洗需求，公司还研发了多种辅助清洗机台，如：炉管清洗机，片盒清洗机，部件清洗机，本地化学品供液设备，湿法工作台，烘箱等。目前已与无锡上华、宁波中芯、广州粤芯、无锡华虹、重庆华润微电子等客户达成友好合作。详细资料请参考本公司网站产品信息内容，欢迎广大客户来电咨询。

销售部电话： +86-510-8538-2188

邮箱： wendy.dong@aelsystem.com

手机： +86-13306189603  网站：www.aelsystem.com

烤箱Oven（可根据实际要求进行定制）

- 电源：AC380 V 3φ 50HZ 24KVA 15A；

- 内尺寸：W1110×H630×D720*2，尺寸可调整；

- 送风马达：AC380 V 3φ 50/60HZ 1/2HP 4P；

- 送风风扇：SUS φ9＂；

- 材质：内、中SUS304#不锈钢板、外SS41#钢板烤漆；

- 温度范围：MAX200℃；

- 送风方式：水平送风。