单晶硅炉真空清扫系统

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honsonvac单晶硅炉真空清扫系统的特点

1.电机全部采用德国西门子品牌，其防护等级达到IEC60034-5标准中IP55防护等级的要求。

2.电控元件选用施耐德品牌，并且具有缺相、热过载和相序保护功能，可有效保证机器的安全运行。

3.滤筒的清灰方式采用脉冲电磁阀连接螺旋喷嘴脉冲反吹，工作压力为0.4—0.6MPa，连接气源即可使用。

4.机器粉尘收集箱采用压杆式结构设计，底部带有脚轮，方便随时清理粉尘。

5.滤芯压差实时显示，方便更换滤芯。

6.高负压涡轮真空泵，吸力大，风量足，满足现场24小时使用。

7.根据管内流体特点进行管路系统设计，管网阻力损失小，管内不堵料，不会出现粉尘二次污染。