产地:山东 青岛 即墨市 | 归属行业:全套生产线
品牌:晨立
有效期至:长期有效
联系人: 姜新诚
电话: 13869885308
主营: 高温扩散炉,高温加热炉体,真空炉,隧道式烧结炉,半导体扩散炉,整流器专用焊接炉
联系地址:山东省青岛市即墨区泰山三路285号联东U谷即墨科技创新谷3号楼
晶圆真空退火炉主要用于半导体晶圆在高真空环境下的低温退火。
尺寸:4-8英寸晶圆
晶圆舟:标准25片
控温精度:±3℃
升温速率:10℃/min
洁净等级:百级洁净
真空度:5*10-4 Pa
使用温度:200-550度