供应全自动硅片甩干机

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XS156A-4型硅片甩干机
型号规格 XS156A-4 外形尺寸（L×W×H） 843×933×941(mm)
甩干机内缸 D520mm 最高转速 1500转/分钟
氮气加热功率 3KW 喷淋干燥时间 4～6min
纯水流量 2kg/c㎡ 8L/min 氮气流量 5kg/c㎡ 300L/min
交流伺服马达 0.75KW 材料 SUS304不锈钢
人机界面 5.7英寸 喷淋设备 四氟材料
总重量 65kg 总电源 220V 4.5KW
甩干数量 可容纳4个最大6英寸（切方后125×125mm）25片装的花篮，共100片
甩干机主轴 直径25mm（SUS304不锈钢材料）
适用范围： 用于硅（芯）片、掩模板、太阳能电池等其他类似材料的甩干,硅片尺寸可以为3～8寸等
工艺流程： 甩干→喷纯水→氮气加热烘干

一、主要用途：
该产品主要用于半导体行业、硅片、掩膜板、太阳能电池等其它类似材料的高洁净度冲洗甩干。主要的工艺流程是：旋转喷淋冲洗＋离心甩干＋氮气加热烘干。
二、主要技术特点
1.采用人机界面、操作简便。
2.采用PLC控制，故障自动诊断，故障率低并且有报警提示。
3.速度调节，温度调节，每道程序运行时间都可以在触摸屏上调整。
4.氮气温度控制，腔体温度控制。
5.交流伺服驱动系统。
6.碎片率万分之三
7.可按用户特殊要求配制。
三、结构特点：
1.轴用直流伺服电机实现无级调速，离心转桶最高转速2800转/分。
2.离心转桶的转轴和甩干桶之间采用氮气动密封，减少对环境的污染。
3.橡胶门在工作时充气膨胀，起到密封与安全作用，门上装有安全连锁装置，只有关上门后才能启动。
4.气加热器可以提供热氮气，加速甩干桶水分的蒸发。
5.定向制动装置，每次停机时，硅片承载器的开口向上，防止硅片掉出。
6.主要结构采用不锈钢。
四、主要技术参数：
1.适用范围：8英寸、6英寸、4英寸、3英寸、2英寸硅片的清洗甩干。
2.清洗时的转速：1000转/分以下连续可调。
3.甩干时的转速：2800转/分以下连续可调。
五、功能介绍：
　　1.容量大，大直径,一次可清洗甩干4盒-6盒（100-150片）。
　　2.采用变频技术，清洗和甩干速度按使用要求随意变换，并按实时显示在液晶屏上。
　　3.采用气压缸自动开门关门,平稳安全可靠。
　　4.PLC全自动控制，整个过程智能化。
　　5.液晶智能显示工作状态及数据。
　　6.采用油浴炉加热氮气,热量足,温度稳定,加热温度实时监控，并显示在液晶屏上，并有过热保护。
　　7.特制喷头和气液流体控制系统,全自动切换。
　　8.清洗的时间可以根据需要随意调整。
　　9.整机采用不能磁化的不锈钢和铝板为原材料
　　10.保证能够清洗甩干156mm以下规格的硅片
　　11.可根据用户使用场合及洁净度要求，工件的最大加工直径及兼容性，生产和技术发展的需要定制符合其硅片规格的各类机型
六、主要特色：
　　1.融合欧洲同类产品先进技术
　　2.清洗甩干烘干一次完成
　　3.整个工作时间短，效率高，一般只需5-8分钟
　　4.可以清洗103mm~156mm 各种规格的硅片

【硅片甩干机】
※采用日本技术，国内首创新品
※实用新型专利产品
※全不锈钢结构，结构紧凑，体积小，重量轻，操作维护方便，美观耐用
※全部采用进口优质件组装，性能稳定可靠
※高转速，甩干速度快，破损率低
※具有氮气加热、纯水喷淋等功能，也可利用室内空气通过高效过滤后迅速甩干，节能效果显著