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产地：上海 | 归属行业：清洗设备
有效期至：长期有效
全自动硅片清洗设备特点：
进口伺服驱动机构及机械手臂，清洗过程中无需人工操作。
通过PLC实现控制，全部操作通过触摸屏界面一次完成。
可预先设制多条清洗工艺，可同时运行多条工艺。
自动化程度高，适用于批量生产，确保清洗质量的一致性。
自动氮气鼓泡装置可有效提高产品质量，缩短清洗时间。
可选装层流净化系统及自动配酸装置。
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王中秀
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