产地:山东 青岛 | 归属行业:清洗设备
有效期至:长期有效
联系人: 王强
电话: 86-532-87666580
主营: 太阳能电池片扩散炉,PECVD,LPCVD,砷化镓单晶生长炉系列,LED系列,清洗机,工业炉
联系地址:青岛市李沧区李沧工业园铜川路10号
硅片清洗加工设备,可广泛用于IC生产及半导体元器件生产中晶片的湿法化学工艺。该设备可有效去除晶片表面的有机物、颗粒、金属杂质、自然氧化层及石英、塑料等附件器皿的污染物,且不破坏晶片表面特性。
可用于完成扩散前、光刻后、CMP后及氧化前等工艺的清洗工作。例如:RCA清洗、SPM清洗、SC清洗、金属离子及杂物去除清洗等。
◆全自动硅片清洗机 ◆手动硅片清洗机
全自动硅片清洗设备特点:
◆ 进口伺服驱动机构及机械手臂,清洗过程中无需人工操作。
◆ 通过PLC实现控制,全部操作通过触摸屏界面一次完成。
◆ 可预先设制多条清洗工艺,可同时运行多条工艺。
◆ 自动化程度高,适用于批量生产,确保清洗质量的一致性。
◆ 自动氮气鼓泡装置可有效提高产品质量,缩短清洗时间。
◆ 可选装层流净化系统及自动配酸装置。
手动硅片清洗设备特点:
◆ 可根据不同的清洗工艺配置各种相应的清洗功能槽。
◆ 功能槽包括:加热酸缸、HF腐蚀、BHF(HF恒温缓冲腐蚀)、超声清洗槽、恒温水浴、QDR(快排冲水)、电炉等。
◆ 清洗功能槽模块化,各部分有独立的控制单元,可随意组合。
◆ 关键件采用进口部件,提高设备的可靠性及使用寿命。
◆ 采用进口耐腐蚀PP板材,防酸、防腐,有效避免酸液的侵蚀。
◆ 控制系统的元器件具备防腐、防潮功能,确保安全的工作环境。
◆ 结构紧凑,占地面积小,造型美观、实用。
◆ 操作符合人机工程原理,具有良好的操作界面,使用方便、灵活。
◆ 闭式清洗,有效改善工作环境,保障操作人员安全。