产地:山东 青岛 | 归属行业:硅棒硅锭生长设备
有效期至:长期有效
联系人: 王强
电话: 86-532-87666580
主营: 太阳能电池片扩散炉,PECVD,LPCVD,砷化镓单晶生长炉系列,LED系列,清洗机,工业炉
联系地址:青岛市李沧区李沧工业园铜川路10号
◆ 硅烷法多晶硅生长设备主要用于电子级多晶硅的生成,其主要是利用硅烷热分解法生产纯度较高的电子级多晶硅产品。
◆ 硅烷热分解法硅烷(SiH4)是将制得的硅烷气提纯后在热分解炉生产纯度较高的棒状多晶硅。
◆ 设备的主要组成部分有:气源部分、反应室、真空系统、尾气处理部分和安全保护部分。
◆ 气源部分主要是提供多晶硅生长的原材料,以及对反应室和气路部分的吹扫等功能。
◆ 反应室是整个设备的核心部分,由主反应室和次反应是组成,使得硅烷能够彻底的分解,并且反应室的设计要保证多晶硅生
长的质量和产量。
◆ 真空系统是多晶硅生长的保证,是生长工艺的前提。
◆ 尾气处理部分是对多晶硅生长后排除尾气的处理,主要是对生成H2的回收,以及对残余SiH4的分解。
◆ 安全保护部分是整个生产系统的前提保障,只有对各个环节采取安全保护和安全措施,才能保证生产的正常进行。
主要技术参数:
1.12对加热棒
2.年产30-50吨
3.纯度9-12N
4.转化率:86%
5.电耗:50度每公斤