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产地：北京 | 归属行业：清洗设备
有效期至：长期有效
设备简介：
1）适合单晶硅片研磨、切割后的批量清洗，多晶硅片线剧切片后的大批量清洗。
2）工艺流程：
DI水超声＋氮气鼓泡→喷淋→碱超声→ 喷淋→溢流
3）设备采用联动机械手按节拍同时移动篮具，其工艺时间可以自行调节
4）标准工艺下产量：硅片1000片/小时。
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张健
京公网安备11030102011671号 
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