产地:江苏 常州 | 归属行业:硅棒硅锭生长设备
有效期至:长期有效
技术参数
1、电源电压:380VAC±5%
2、电源频率:50HZ
3、电源相数:3相3线制
4、变压器容量:190KVA
5、加热器最大加热功率:140KW
6、最高加热温度:1600℃
7、加热器最高加热电压:60V
8、冷炉极限真空度:<3Pa
9、晶体直径:¢6〞~¢8〞
10、熔料量 :60Kg
11、主炉室尺寸:φ800×1080mm
上炉室尺寸:φ800×800mm
下炉室尺寸:φ800×280mm
12、翻板阀通径:φ260mm
13、封头炉盖高度:380mm
14、副炉室尺寸:φ260×2200
15、籽晶转速范围:1~40rpm
16、籽晶拉速范围:0.2~8mm/min
17、籽晶快速:≥200mm/min
18、籽晶在炉内有效行程:3000mm
19、籽晶在副室内有效行程:1800mm
20、坩埚升速范围:0.02~1mm/min
21、坩埚快速:≥80mm/min
22、坩埚在炉内有效行程:400mm
23、坩埚转速范围:1~30rpm
24、两个电极孔孔距:430mm
25、主炉室泵:2H-70A
26、副室泵:2X-8
27、籽晶夹头选用圆柱形或方形
28、耗水量:18m3/h
29、主机占地面积:2500x2000mm
30、主机最大高度:6500mm
31、主机重量:约7000Kg