刻线线宽: 12-30μm,±3μm
刻线深度: 2-5μm,±2μm
刻线速度: 可调,最大4s/片
直线度: ±20μm
工作台重复定位精度:±10μm
额定输入电压: 三相380VAC,50Hz/60Hz,带保护地线
冷却方式: 水冷
加工范围: 125×125mm、156×156mm
应用领域:
专用于晶硅太阳能电池选择性扩散
设备特征:
六工位全自动工作平台,加工速度快
操作简单,维修费用低
软件自动控制
性价比高