供应 碳化硅（SIC）涂层石墨产品

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■产品概述
　　SIC涂层石墨基座具有耐高温、抗氧化、纯度高、和耐酸碱盐及有机试剂等特性，物理化学性能稳定。与高纯度石墨相比较，高纯石墨在400℃开始发生强烈氧化，即使温度不高，长期应用也因氧化而掉粉末，会依附工件和台面或污染使用环境，因此SIC涂层石墨基座作为一种新耗材在MOVCD设备、粉末烧结等工序上逐步代替了高纯石墨基座。
　　本公司生产的SIC涂层石墨基座等产品涂层是在高温条件下，使特种气体释放出硅，硅和碳直接结合，从而将特定形状石墨基体包裹起来，形成SIC保护层，所形成的SIC牢牢的巴结在石墨基体上，赋予石墨基体特殊的性能，从而使石墨基座表面致密，无孔隙、耐高温、抗溶蚀、抗氧化。
■主要特点：
● 高温抗氧化：抗氧化,温度高达1600℃时抗氧化性能仍然非常好。
● 纯度高：高温氯化条件下化学气相沉积方法制得的。
● 耐冲刷：硬度高、表面致密、颗粒细。
● 抗腐蚀性：耐酸、碱、盐及有机试剂。
■主要参数：
● SIC表面层为β－碳化硅 属面心立方。
● 晶格常数α0.434mm。
● 具有高纯度和各相异性。
● SIC涂层具有较高的热导率 80W/m•k。
● 密度在 3.15－3.20g/cm3。
● 热膨胀系数 4.8×10－6 ℃－1。
■产品应用：
● MOCVD设备中，GaN外延生长用的石墨基座涂层。
● 单晶硅外延生长用的石墨基座涂层，平板基座、圆形基座、立体基座。
● 单晶硅器件烧结炉用的石墨底盘涂层。
● 石墨加热器上的表面涂层（平板加热器、圆形加热器、筒形加热器等等）。
● 各种氧化物隧道窑中烧结用的石墨匣钵涂层。
● 粉末冶金连续烧结用的石墨基座涂层。
● SIC涂层经光学技术修磨用于太空反射镜。