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产地：上海 上海 闵行 | 归属行业：检测设备
有效期至：长期有效
联系人: 宁伟
电话: 021-34150813
主营: 无接触式测量 厚度 电阻率 TTV Bow\弯曲度 Warp\翘曲度 型号
联系地址：上海市闵行区剑川路951号
硅片要求 规格： 方片125×125mm 、156×156mm
圆片 3"、4"、5"、6"、8"
测量功能 厚度： 单点及多点厚度
TTV: 总厚度偏差
体电阻率： 单点及多点电阻率
TRV: 总体电阻率偏差
测量指标 厚度 范围： 150-1000μm
测量误差:≤±1.0μm
重复性1σ:≤0.2μm
TTV 范围： 0.0-200.0μm
测量误差：≤±0.50μm
重复性1σ:≤0.2μm
电阻率 范围： 0.1-30Ω.cm
测量误差：≤±3.0%*R
重复性1σ:≤1.5%*R
设备尺寸 360mm(L)×350mm(W)×500mm(H)
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宁伟
京公网安备11030102011671号 
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