产地:北京 北京 大兴 | 归属行业:硅棒硅锭生长设备
品牌:Sevenstar 七星华创
有效期至:长期有效
联系人: 樊荣
电话: 010-56178088
主营: 质量流量计、流量控制器、流量显示仪、积算仪等
联系地址:北京市经济技术开发区文昌大道8号
商品简介
标准:
气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为:
标准温度………………0℃(273.15K)
标准压强………………101325Pa
输入和输出:
输入电源………………+15V,50mA;-15V,200mA
输入设定电压…………0~+5.00V
输出电压检测…………0~+5.00V
满量程流量范围(N2) | 300SLM~2000SLM | |||||
控制范围 | 2~100%F.S. | |||||
阀类型(阀初始状态) | 电磁调节阀 href="http://www.mfcsevenstar.cn/Product/ProductDetail.aspx?OID=53" target=_blank>电磁调节阀(常闭) | |||||
准确度 | ±2%F.S. | |||||
线性 | ±1%F.S. | |||||
重复精度 | ±0.2%F.S. | |||||
响应时间 | ≤10sec | |||||
工作温度范围 | 5~45℃ | |||||
工作压差范围 | (0.25~0.5)MPa (≤1000SLM) (0.4~0.5)MPa (>1000SLM) |
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耐压 | 3MPa | |||||
漏气率 | 1×10-8SCCSHe | |||||
通道湿材料 | 316L不锈钢、密封材料 | |||||
静密封材料 | 氟橡胶(或丁晴橡胶、硅橡胶) | |||||
动密封材料 | 氟橡胶(或丁晴橡胶、硅橡胶、聚四氟乙烯) | |||||
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重量 | 6kg |