Centrotherm，Tempress, 扩散炉进口备件

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Centrotherm，Tempress, SVCS扩散炉进口备件

POCL浆: SiC paddle（2258，2620）

恒温控制器： Temperature-Control System （Fujifilm，Schumacher）

电机：Faulhauber，Tecmotion，Parker，Dunkermotoren，伺服控制器：RDC2，Omron

热电偶： Profile TC（Left，Right），Spike TC（Single，Double）

MFC（Horiba，Brooks），（3L；15L；30L）

TMM5:   cassette-EI 5zones

TMM6:      temperature measuring module 6 channels CAN-bus

CESAR:   MicroBox Siemens PC420/PC427B

REG97：  Temperature-Controller

RDC2：  DC drive module, 2 axes

RDIO 8/24：  digital I/O module 8 In 24 Out for REG97

压差计:     differential pressure sensor 

固态继电器:  solid state relay 125A

石英件

石英管       TC 套管       排气管       

管径变换帽  冷凝瓶       积液瓶       

整套集液瓶       炉门石英盖       舟架

石英舟156       石英舟125       整套炉门         

石英212槽125    石英212槽156     

烧结炉Centrotherm，Despatch，BTU, TPS进口备件

履带：Mesh linked chain W=300mm

双轨履带：wire mesh belt conveyor 2 track B 550mm track pitch 236mm

加热灯管IR-tubular radiator  600W 110V      

加热灯管IR-tubular radiator  900W 230V       

加热灯管IR-tubular radiator 1600W 230V

加热灯管IR-tubular radiator  2400W 230V     

加热灯管IR-tubular radiator  2700W 230V      

加热灯管IR-tubular radiator 3700W 230V

加热灯管IR-tubular radiator  1100W 240V（Desptach）

石英板quartz plate 709x270x5

固态继电器Solid state relay

过滤器Solid state relay

Baccini，Asys ，DEK , JRT进口备件

自动卷纸机      台面纸         印刷台面       

刮刀夹具       刮条         滚轮   

履带            摄像头        上下丝杆         

伺服电机        探针排      原装INGUN探针     

ELMO卡         烘箱加热管