流量计

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MFC（流量计） FCS-P系列（压力式流量计） 　　FCS即流量控制系统（Flow Control System），是专为确立近年来半导体制程中，越来越受重视的蚀刻速率（ETCH RATE）或成膜速率的稳定性、再现性而开发出来的产品。基本操作原理有别于传统的质量流量计，这是一款经由压力控制，从而达到高精度流量控制目标的崭新产品。FCS 能克服气体供应系统所产生的压力变动或干扰等制程上不稳定的因素，提供给客户无限制且稳定的流量控制。 产品特性 ●结构简单 FCS内部结构相当简单，且是个完全零死角的结构。 ●卓越的压力变动特性 上游压力变动时，质量流量控制器输出值会呈现大幅度变化，但FCS则完全没有任何变动。 ●采用流量参数（FLOW FACTOR） 采用流量参数，即可利用N2校正，是FCS对应各种气体。 ●卓越的精准度 全流量10%以上时，精准度在设定点的±1.0%以下，反之则为全流量的±0.1%以下，精准度相当高。 ●搭载流量异常诊断功能 ●反应灵敏 ●设置位置不受限（MOUNT POSITION FREE） ●对应DEVICE NET 经第三机构测试单位ODVA的测试，完全通过ODVA测试软体VerA-14的测试