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冯阿登纳真空设备（上海）有限公司

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光伏薄膜技术

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支持批量采购
发布时间：2013-12-08 13:21

产地：上海上海松江 | 归属行业：其他

品牌：冯阿登纳

有效期至：长期有效

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联系人: Lilian Li

电话: 021-37690555

主营: 从事有关真空处理设备及相关配件的生产,销售的业务联络,市场调研,产品介绍,技术交流

联系地址：上海市松江工业区东兴路418号

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光伏薄膜技术

冯阿登纳公司注意到，薄膜光伏产品是未来市场的一个增长点，我们可以提供镀膜方案或薄膜工艺广泛的产品组合。对此，我们推荐以玻璃为基片的卧式镀膜机PIA|nova^®。
而且我们还提供立式配置的设备，例如GC60V，以及对使用卷对卷工艺的柔性基片镀膜的解决方案。

冯阿登纳研发和提供高度自动化离线镀膜设备，可以应用于所有常规尺寸基片，生产金属电极、透明氧化物导电膜以及基于CIS 或 CdTe的半导体膜层。

根据上述应用，我们提供以下系统：

PIA|nova®
GC60V
FOSA1600
GC330H
研发与试验系统

PIA|nova^® 模块化的，灵活的，高度自动化的生产系统，用于沉积金属导电层，TCO层和不同的吸收层。例如CIGS 或 CdTe光伏太阳能电池。模块化的方案给予高可靠性和高成本效益的有机结合，可以根据客户的需求灵活配置设备。

例如PIA|nova^®的适用范围：

薄膜太阳能电池：a-Si:H, a-Si:H/µc-Si:H
前电极：SiO_xN_y, ZnO：Al
背电极：ZnO:Al, Ag, Al

薄膜太阳能电池：CdTe
前电极：ITO, SnO₂
背电极：Al, Cr, Mo, Sb₂Te₃, NiV

薄膜太阳能电池：CIGS
前电极：i-ZnO, ZnO:Al
吸收层：CuGa, In
背电极：SiO_xN_y, Mo

我们GC60V设备可以在垂直基片上进行多种涂层的沉积。

GC330H设备平台是量产型镀膜机，可以在平面玻璃基片上多层溅射镀膜，同时可以为水平基片提供多种涂层沉积方案。

工艺

溅射腔体由可自定义编号的通用技术厢体组成，内含先进的780 mm设计。所有的厢体都是一模一样的，以满足最大限度的灵活性，无论盖板上配置的是涡轮分子泵还是用于直流或交流溅射的不同设计的平面阴极或者旋转阴极，都能灵活地匹配在任一个厢体上。如需增加额外的配置和先进的工艺控制系统，可以很容易集成到系统中。

设备

基于涡轮分子泵和干式螺杆泵的真空工艺系统
客户可以通过交换装有泵的盖子、装有磁控管的盖子、磁控管周边设施以及厢体间其它设备来自由组合、改装。
在相邻溅射区域的排气系统都有维修阀门。

关键词：光伏薄膜技术冯阿登纳真空设备（上海）有限公司

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