产地:广东 | 归属行业:其他
品牌:捷佳伟创/S.C
有效期至:长期有效
联系人: www
电话: 86 755 81449696
主营: 硅片超声波清洗设备等离子蚀刻设备, 制绒设备, 湿蚀刻设备, 扩散炉, 电池片等离子体化学气相沉积设备 薄膜电池超声波清洗设备
联系地址:广东省深圳市龙岗区横岗街道横坪公路89号数字硅谷(涌鑫工业厂区)D、E栋
设备用途:主要用于晶体硅太阳能电池制造中硅片的掺杂形成PN结
工艺流程:石英舟及硅片准备→插片→上料→选择工艺运行→进舟→升温稳定→通氧→通源→推进→恒温→出舟→下舟冷却→测试→卸片
技术特点:
●工艺舟软着陆
●精确温度控制系统
●闭管扩散
●全数字化控制系统
●数字式MFC精确控制气体流量
●隔热和密封的炉门系统
●防污染的尾部废气处理系统
●紧凑的造型设计