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产地：广东 | 归属行业：清洗设备
品牌：捷佳伟创/S.C
有效期至：长期有效
联系人: www
电话: 86 755 81449696
主营: 硅片超声波清洗设备等离子蚀刻设备, 制绒设备, 湿蚀刻设备, 扩散炉, 电池片等离子体化学气相沉积设备 薄膜电池超声波清洗设备
联系地址：广东省深圳市龙岗区横岗街道横坪公路89号数字硅谷（涌鑫工业厂区）D、E栋
设备用途：主要对单、多晶硅片进行刻蚀、清洗、干燥
工艺流程：上料→酸气隔离→滴水保护→刻蚀→纯水喷淋1→碱洗→纯水喷淋2→酸洗→纯水喷淋3→烘干→下料
技术特点：
●设备拥有滴水保护装置，能很好的保护硅片正面不被腐蚀，且没有刻蚀线痕。
●设备拥有酸气隔离装置，将设备内部的酸气与外界隔离，起到很好的安全保护作用。
●设备拥有阶梯式的刻蚀传动辊，并套有O型氟胶圈，能起到减少破片的作用，更能提高硅片腐蚀的均匀性。
●传动采用编码器测速反馈变频器控制，保证传动速度的稳定性。
●刻蚀副槽制冷采用新型结构的在线式交换器，保证工艺温度的可控性，温度可控制到6℃。
●刻蚀主槽采用多处进液，多层匀流结构，保证主槽药液浓度和温度的均匀性。
●烘干采用多次过滤，保证烘干用空气的洁净度
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