产地:广东 | 归属行业:清洗设备
品牌:捷佳伟创/S.C
有效期至:长期有效
联系人: www
电话: 86 755 81449696
主营: 硅片超声波清洗设备等离子蚀刻设备, 制绒设备, 湿蚀刻设备, 扩散炉, 电池片等离子体化学气相沉积设备 薄膜电池超声波清洗设备
联系地址:广东省深圳市龙岗区横岗街道横坪公路89号数字硅谷(涌鑫工业厂区)D、E栋
设备用途:对电池片进行选择性刻蚀、清洗
工艺流程:上料→去PSG→纯水漂洗→酸处理→纯水清洗→纯水隔离→碱洗→超声清洗→纯水隔离→SC-2处理→纯水清洗→HF处理→纯水漂洗→预脱水→烘干→下料(全自动化流程控制)
技术特点:
●高均匀性:
A、独特酸处理主、副槽连体结构使循环速度大大提高,冷却时间更短,使槽内药液均匀性及温度更加均匀,杜绝了药液渗漏的可能性。
B、独特的三点温控系统,保证槽内的药液的温度,精度控制在±1℃。
●独特的超声波液位仪在线反映液面高度,保证配液精度;独特的纯水隔离系统,使不同药液段完全隔离,提高了对硅片的加工质量;独特的四边溢流槽体结构,既保证了清洗效果又节约水;独特的超声脱气装置,在相同功率下清洗效果增加1倍;独特的烘干系统,保证了烘干效果的同时也杜绝了设备着火的可能性;独特的双层槽体结构,杜绝了药液渗漏的可能性。
●稳定的高速机械手,提升能力达到50KG,长时间运行平稳无故障,保证产能提高及降低破片率。
●先进的逐级、多级溢流系统,既保证了清洗效果又节约水。
●精确的自动补液系统可以根据实际需要进行定量补液,达到 50ML的补液量仅误差±1ML。
●全新的预脱水结构将水蒸气从硅片表面剥离,更好的保证烘干效果。
●全套的防压篮系统保证长时间运行,避免压篮事故。