产地:广东 | 归属行业:其他
品牌:捷佳伟创/S.C
有效期至:长期有效
联系人: www
电话: 86 755 81449696
主营: 硅片超声波清洗设备等离子蚀刻设备, 制绒设备, 湿蚀刻设备, 扩散炉, 电池片等离子体化学气相沉积设备 薄膜电池超声波清洗设备
联系地址:广东省深圳市龙岗区横岗街道横坪公路89号数字硅谷(涌鑫工业厂区)D、E栋
设备型号:MC-200
设备用途:主要用于LED芯片制造工序之外延片退火、TCL退火金属电极合金等
工艺流程:升温→通氮气→稳定温度→石英舟及晶圆准备、装片→进舟→退火合金→退货完成、出舟→冷却→卸片
技术特点:
●3点内热偶控温(串级温度控制为可选型)
●全自动悬臂推拉系统、自动进出料
●紧凑的造型设计
●触摸屏全自动控制
●温度快速恢复功能
●双温区炉体