产地:广东 | 归属行业:其他
品牌:捷佳伟创/S.C
有效期至:长期有效
联系人: www
电话: 86 755 81449696
主营: 硅片超声波清洗设备等离子蚀刻设备, 制绒设备, 湿蚀刻设备, 扩散炉, 电池片等离子体化学气相沉积设备 薄膜电池超声波清洗设备
联系地址:广东省深圳市龙岗区横岗街道横坪公路89号数字硅谷(涌鑫工业厂区)D、E栋
设备型号:MD-600A
设备用途:LED芯片制造工序之氧化物透明电极生长
工艺流程:LED wafer装载并送入反应炉→wafer退火处理→接触层生长→导电层生长→表面层生长→透明电极退火处理→卸载石墨盘、取出LED wafer
技术特点:
●高产能 ●高良品率
●低生产成本 ●低维护频率
●极佳生长重复性 ●操作维护简单
●极短的生长准备时间 ●长稳定生长周期
●高生长均匀性
●无须腔体外烘烤清洗石墨盘