TSV(硅通孔)的制作
应用材料公司拥有通过生产验证的全套制造TSV所需的系统和工艺,并与产业联盟及其他设备供应商合作,引领TSV技术走向成功应用。
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采用TSV制作器件需要产业链上下各公司之间进行前所未有的密切合作。应用材料公司有能力在其Maydan技术中心对整个TSV工艺流程进行验证,并与其他主要供应商和多个产业联盟合作研究,对技术进行精细调整。应用材料公司的战略是向芯片制造商提供具有成本效益的整合方案,帮助他们实现最具挑战性的三维封装计划,从而使其出色的新产品很快投入市场。
凸点技术
应用材料公司也与常规硅片级封装的客户进行技术合作。芯片一般通过外部焊线或倒装芯片技术实现与外界的电互连。倒装芯片的凸点通过沉积形成在管芯表面的压焊点上,芯片倒扣并让压焊点与外部电路实现互连。