NanoFocus μsurf custom光学轮廓仪(三维共聚焦表面测量系统/3D显微镜)

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 NanoFocus μsurf custom光学轮廓仪(三维共聚焦表面测量系统/3D显微镜)

n         产品介绍

n         应用

ü         精密部件：检测对表面磨损，表面粗糙度，表面微结构有要求的零部件，比如发动机汽缸、刀口等;

ü         生命科学：测量stents支架上镀层厚度等

ü         微电子机械系统：微型器件的检测，医药工程中组织结构的检测，如基因芯片等

ü         半导体：检测微型电子系统，封装及辅助产品结构设计

ü         太阳能：太阳能电池片栅线的3D形貌表征、高宽比测量，制绒后3D形貌表征（单晶金字塔大小、数量、角度，多晶腐蚀坑形貌、密度），粗糙度分析等

ü         纸张：纸张、钱币表面三维形貌测量

ü         LED：用于蓝宝石衬底的测量，抽检PSS ICP后的WAFER的3D形貌

n         技术参数

配有专业工作台：尺寸1550800x750 mm (LxWxH)

工作电源：100-240V, 50-60Hz，input: 550 VA

洁净室等级: Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)