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OLYMPUS LEXT OLS4500 纳米检测显微镜
品牌:奥林巴斯
型号:OLS4500
■产品介绍
OLYMPUS LEXT OLS4500是结合了传统光学显微镜、激光扫描显微镜(LSM)以及探针扫描显微镜(SPM)功能的一体机。LEXT OLS4500可以满足不同样品的观测需求,是一台新时代的观察、测量装置。
LEXT OLS4500可以轻松实现从毫米到纳米的观察和测量,放大倍率由几十倍到高达百万倍。找到观测目标(观察对象)后,您可以在光学显微镜模式、激光显微镜模式和探针显微镜模式之间自由切换,而不用担心目标丢失。并且您可以使用探针显微镜迅速而正确的完成观察,大大缩短了获取影像的时间。这些便是OLS4500一体机的自由操作带给您的益处。更加方便、更加顺利地完成超大范围观察和测量。实现了自由切换操作的LEXT OLS4500。
光学显微镜是从样品上方照射可见光(波长约400 nm到800 nm), 利用其反射光成像, 能够放大样品数十倍到一千倍左右进行观察。光学显微镜的特长是可以真实观察彩色样品, 还可以切换观察方法, 强调样品表面的凹凸, 利用物质的特性(偏光性)进行观察。OLS4500上可以使用:明视场观察,微分干涉观察,简易偏振光观察。
LEXT OLS4500采用405 nm的短波长半导体激光、高数值孔径的专用物镜、以及独特的共焦光学系统,可以达到0.12 μm的平面分辨率。此外,OLS4500配有奥林巴斯独有的扫描加扫描型2D扫描仪,可以实现高达4096×4096像素的高精度XY扫描。
OLS4500上采用了光杠杆法——通过高灵敏度检测出最前端装有探针的微悬臂的微小弯曲量(位移)来进行观测的方法。在悬臂的背面反射激光,并用压电元件驱动Z轴,使激光照射到光电检测器的指定位置,从而正确读取Z方向的微小位移。OLS4500配有:接触模式,动态模式,相位模式,电流模式,表面电位模式(KFM),磁力模式(MFM)。
■应用
LEXT OLS4500可用来测量表面物理形貌,进行微纳米尺度的三维形貌分析,如3D 表面形貌、
2D 的纵深形貌、轮廓(纵深、宽度、曲率、角度)、表面粗糙度等。
� 精密部件:检测对表面磨损,表面粗糙度,表面微结构有要求的零部件;
� 生命科学
� 微电子机械系统:微型器件的检测,医药工程中组织结构的检测,如基因芯片等
� 半导体:检测微型电子系统,封装及辅助产品结构设计
� 太阳能:太阳能电池片栅线的3D 形貌表征、高宽比测量,制绒后3D 形貌表征(单
晶金字塔大小、数量、角度,多晶腐蚀坑形貌、密度),粗糙度分析等
� 纸张:纸张、钱币表面三维形貌测量
� LED行业
■技术参数
LSM部分
光源:白光LED,405nm半导体激光
检出系统:光电倍增管
分辨率:移动分辨率10nm,显示分辨率1nm
物镜转换器:6孔电动物镜转换器
物镜:100x,50x,20x等(可选)
变焦:光学变焦:1~8X,数码变焦:1~8X
SPM部分
光源:659nm半导体激光
检出设备:光电检测器
最大扫描范围:X/Y 方向,30μm x 30μm, Z 方向:4.6μm,
微悬臂规格:根据用途不同微悬臂有不同型号、类型
工作电源:100-240V, 50-60Hz,
总重量:约440KG
设备咨询联系人:
Ronnie Chen +86-21-13651969369 +86-21-61533166 ronniechen@nanofocus.com.cn