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产地：广东 深圳 深圳市 | 归属行业：光伏生产设备
有效期至：长期有效
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序号
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指 标 项 目
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指 标 值
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1
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工艺方式
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软着陆闭管
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2
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反应管有效内径
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ø320mm，适用于 □125mm，□156mm
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3
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炉管数
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1管、2管、3管、4管、5管
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4
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生产能力
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≥1000片/批/管
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5
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加热温度
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RT～1250℃
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6
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工作温度范围
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400～1100℃
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7
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温度控制方式
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5点控温，内外双模控制
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8
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恒温区长度及精度
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≤±0.5℃/1100mm（800~1100℃），
≤±1℃/1100mm（400~800℃）
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9
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温度稳定性
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≤±0.5℃/4h（880℃）
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10
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温度斜变能力
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a．最大可控升温速率： 20℃/min.
b．最大降温速率： 8℃/min.
c．RT→工艺温度 ≤50min.
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11
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具有自动斜率升温及快速恒温功能
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12
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降温方式
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立体水冷+风冷
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13
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净化装载台净化方式与净化级别
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垂直层流，1000级(10000级厂房)，或100级（1000级厂房）
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14
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送舟方式
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采用SiC悬臂桨自动水平送片，舟速20～1000mm/min连续可调；定位精度≤±1mm；最大承载重量为18kg
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15
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尾气处理方式
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尾部集中收集，冷凝气液分离后定向排放
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气体控制与输送
方式
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MFC精确控制流量，高洁净内抛光不锈钢管与PFA管输送，气动隔膜阀通断，全进口件气体控制与输送系统
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压力控制方式
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闭环全自动
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18
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炉口环境隔离方式
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气帘扫吹技术
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工艺过程控制
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全自动，PLC+工控机，触摸屏操作
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20
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工艺管理功能
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每管可存储超过200条工艺曲线，每条曲线不少于30个拐点
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报警保护功能
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全面的超温、断偶、短路、停水、停气、误操作等报警连锁保护
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设备总功率
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峰值功率50KW/每管；保温功率约15KW/每管
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23
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设备外形尺寸
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6470×1875×3275（L×W×H，mm，4管）
6870×2025×3000（L×W×H，mm，5管）
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