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全球首台TOPCon技术ALD设备量产

近日,江苏微导纳米科技股份有限公司宣布其研发的全球首台适用于TOPCon技术的ALD设备正式进入量产阶段。微导研发的祝融系列(ZR4000X2)薄膜沉积设备平台,用于Topcon电池生产技术,产品已交用户使用,工艺参数的开发

全球首台适用于TOPCon技术的ALD设备正式进入量产阶段

江苏微导纳米科技股份有限公司研发的全球首台适用于TOPCon技术的ALD设备正式进入量产阶段。微导研发的祝融系列(ZR4000X2)薄膜沉积设备平台,用于Topcon电池生产技术,产品已交用户使用,工艺参数的开发及优化取得重

SoLayTec近日宣布某中国一线光伏电池制造商已经预订一台InPassion原子层沉积(ALD)设备,生产用于光伏组件的工业型钝化发射极背面接触(PERC)单晶硅太阳能电池。