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XP离子注入

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据了解,Solion XP系统通过减少工艺步骤,在有效提高电池生产效率、电池分档密度和成品率的同时,将硅片单位成本降低至0.05美元,而原先的Solion离子注入系统的单位成本为0.10美元。此外,Solion XP的系统占用空间更低,其处理能力较Solion平台高出 3倍以上。