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硅片清洗作为制作光伏电池和集成电路的基础,非常重要,清洗的效果直接影响到光伏电池和集成电路最终的性能、效率和稳定性[1]。硅片是从硅棒上切割下来的,硅片表面的多层晶格处于被破坏的状态,布满了不饱和的悬挂