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【摘要】研究了激光掺杂选择性发射极匹配的扩散工艺,通过调整不同的工艺参数,达到相同的高方阻,比较了不同方法获得的高方阻的均匀性,得到了在105Ω/□左右的高方阻仍能保持较好均匀性的扩散工艺。通过调整