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直拉单晶硅

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部分优秀报告摘要一种在直拉法单晶硅生长过程中实时监测结晶界面形状的方法完成人:西安交通大学 丁俊岭、刘立军在直拉单晶硅的生长过程中,结晶界面形状对于晶体质量有显著影响,结晶界面形状不仅影响晶体中杂质径