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导读： 在多晶硅生产过程中，原料带进的各种超痕量金属杂质(ppb级)会在多晶硅上沉积，对产品质量产生很大影响，而传统变压吸附和深冷技术难以对这些痕量和超痕量杂质进一步脱除。金属钯复合膜则可以对这些杂质进行有
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