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导读：介绍了低压硼扩散炉的工作原理，研究了负压硼扩散炉中源流量，源瓶压力，大氮流量，反应压力等工艺参数对方块电阻及均匀性的影响，分析了负压硼扩散炉较常压硼扩散炉在工艺方面的优势。1、前言：随着环境问题
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