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【干货】低压硼扩散炉工艺研究

导读:介绍了低压硼扩散炉的工作原理,研究了负压硼扩散炉中源流量,源瓶压力,大氮流量,反应压力等工艺参数对方块电阻及均匀性的影响,分析了负压硼扩散炉较常压硼扩散炉在工艺方面的优势。1、前言:随着环境问题